微波烘干设备是利用电磁波把能量传播到被加热物体内部，加热达到生产所需求的一种新技术。常用的微波频率有915MHz和2450MHz。由于具有高 频特性，它以每秒数十亿次的惊人速度进行周期变化,物料中的极性分子(典型的如水分子、蛋白质、核酸、脂肪、碳水化合物等)吸收了微波能以后，他们在微波 的作用下呈方向性排列的趋势，改变了其原有的分子结构。当电场方向发生变化时，亦以同样的速度做电场极性运动，就会引起分子的转动，致使分子间频繁碰撞而 产生了大量的摩擦热，以热的形式在物料内表现出来，从而导致物料在短时间内温度迅速升高、加热或熟化。
单纯使用微波进行物料干燥时，由于干燥温度较高,容易过热出现物料边缘或尖角部分焦化，产品表面硬化和内部糊化等现象，从而损害产品品质,降低干制品的产品质量。

采用微波干燥与其他干燥方式相结合的联合干燥，按照优势互补的原则,充分发挥各自的技术优势，最大限度地弱化单一干燥方式的技术缺陷,从而缩短干燥时间，提高干燥效率，改善产品质量。近年来这种组合干燥技术到广泛的应用,取得了良好的效果。 对含水量过大的物料进行干燥,常将微波与热风干燥相联合,热空气可以有效地排除物料表面的自由水分,微波干燥去除内部水分，这种组合即缩短了整个干燥时间,也提高了产品品质。如用热风干燥马铃薯片时,其表面结壳,干燥时间较长,制品会缩小变形,在热风干燥末段,利用微波进行后处理，可解决此问题,改善产品质量。